Рекомендуем
Книга
Микроволновые плазмохимические технологии формирования наноструктурных покрытий
204 стр.
Формат 60х90/16 (145x215 мм)
Исполнение: в твердом переплете
ISBN 978-5-9912-1101-7
ББК 66.088:621.793
УДК 004.732.056(075.8)
Аннотация
Рассмотрены как теоретические, так и практические аспекты реализации плазмохимических технологий нанесения наноструктурных покрытий на металлические и диэлектрические основания. С помощью экспериментальной установки, базовым элементом которой является микроволновый плазмотрон на прямоугольном волноводе с двумя магнетронными источниками 2,45 ГГц исследованы рабочие режимы плазмотрона и процессы формирования наноструктурных гидроксиапатитовых покрытий на твердых подложках. Проведен обзор микроволновых плазмохимических технологий и устройств для их реализации.
Для научных сотрудников и инженерно-технических работников в области плазмохимических технологий, а также преподавателей, аспирантов и магистрантов физико-технических направлений.
Рассмотрены как теоретические, так и практические аспекты реализации плазмохимических технологий нанесения наноструктурных покрытий на металлические и диэлектрические основания. С помощью экспериментальной установки, базовым элементом которой является микроволновый плазмотрон на прямоугольном волноводе с двумя магнетронными источниками 2,45 ГГц исследованы рабочие режимы плазмотрона и процессы формирования наноструктурных гидроксиапатитовых покрытий на твердых подложках. Проведен обзор микроволновых плазмохимических технологий и устройств для их реализации.
Для научных сотрудников и инженерно-технических работников в области плазмохимических технологий, а также преподавателей, аспирантов и магистрантов физико-технических направлений.
Оглавление
Предисловие
1. Равновесие гетерогенных веществ
1.1. Основные понятия и определения термодинамики
1.2. Энтропия
1.3. Термодинамическое равновесие
1.4. Термодинамические потенциалы
1.5. Правило фаз
1.6. Устойчивость термодинамического равновесия
1.7. Фазовые равновесия и фазовые переходы
1.8. Фазовые переходы второго рода
1.9. Многокомпонентные системы
1.10. Поверхностные эффекты
Литература к главе 1
2. Уравнения Гиббса и природа критического состояния
2.1. Энтропия и вероятность
2.2. Методы вычисления термодинамической вероятности
2.3. Фазовое пространство
2.4. Распределение энергии по степеням свободы
2.5. Распределения Гиббса
2.6. Флуктуации и устойчивость равновесий
2.7. Квантовая теория теплоёмкости твёрдого тела
Литература к главе 2
3. Фазовые переходы и критические точки
3.1. Критическая точка между двумя фазами вещества
3.2. Условие существования критической точки
3.3. Уравнения Гиббса для критического состояния твердотельной фазы
3.4. Фазовые переходы второго рода и критические точки
3.5. Вычисление критических индексов
3.6. Термостабильность наносистем
Литература к главе 3
4. Плазменные СВЧ-технологии и установки
4.1. Теплофизические характеристики СВЧ-плазмы
4.2. Квазинейтральность плазмы
4.3. Взаимодействие частиц в плазме
4.4. Микроволновые плазменные технологии в медицине
4.5. Технологии конверсия газа
4.6. Переработка отходов с помощью СВЧ-плазмы
4.7. Устройство СВЧ-плазмотронов
4.8. Взаимодействие напыляемых частиц с подложкой
4.9. Конструкции микроволновых плазмотронов
Литература к главе 4
5. Реализация конструкции СВЧ-плазмотрона
5.1. Сверхвысокочастотный пробой в газах
5.2. Обоснование выбора рабочего диапазона частот
5.3. Конструирование рабочей камеры плазмотрона
5.4. Взаимодействие плазмы с электромагнитным полем
5.5. Моделирование электродинамических процессов в волноводе
5.6. Разработка конструкции рабочей камеры СВЧ-плазмотрона
5.7. Разработка цифрового калориметрического ваттметра
5.8. Разработка конструкции пневматического дозатора для нанесения порошковых материалов
5.9. Конструкция вторичного источника электропитания магнетрона
5.10. Моделирование процессов легирования
Литература к главе 5
6. Исследование рабочих режимов СВЧ-плазмотрона
6.1. Формирование устойчивого СВЧ-разряда при атмосферном давлении в среде аргона
6.2. Методика измерения выходной мощности магнетронов
6.3. Методика исследования энергетических характеристик СВЧ-разряда
6.4. Методика измерения температуры электронов по относительной интенсивности спектральных линий
6.5. Внесение порошкового материала в СВЧ-плазму и некоторые практические рекомендации
6.6. Формирование покрытий
Литература к главе 6
